【Introdução ao produto】
PROPRIEDADES MATERIAIS
Parâmetro | Característica | Método de Controle ASTM |
Tipo / Dopante | P, N de fósforo, N de fósforo, Antimônio N, Arsênico | F42 |
Orientações | <100>, <111> corte as orientações de acordo com as especificações do cliente | F26 |
Conteúdo de Oxigênio | 10 18 ppmA tolerâncias personalizadas por especificação do cliente | F121 |
Conteúdo Carbono | <0,5 ppma="" tolerâncias="" personalizadas="" por="" especificação="" do=""> | F123 |
Faixas de resistividade-P, Boro-N, Fósforo-N, Antimônio-N, Arsênico | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
PROPRIEDADES MECÂNICAS
Parâmetro | Prime | Monitor / Teste A | Teste | Método ASTM |
Diâmetro | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Espessura | 525 ± 20 µm (padrão) | 525 ± 25 µm (padrão) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 525 ± 50 µm (padrão) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Arco | <30> | <30> | <40> | F657 |
Embrulho | <30> | <30> | <40> | F657 |
Arredondamento de borda | SEMI-STD | F928 | ||
Marcação | Planos SEMI-STD, somente SEMI-Flat Primário | F26, F671 | ||
QUALIDADE DA SUPERFÍCIE
Parâmetro | Prime | Monitor / Teste A | Teste | Método ASTM |
Critérios do lado da frente | ||||
Condição de superfície | Mecânico Mecânico Polido | Mecânico Mecânico Polido | Mecânico Mecânico Polido | F523 |
Rigidez da superfície | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Contaminação, Partículas @> 0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Névoa, poços, casca de laranja | Nenhum | Nenhum | Nenhum | F523 |
Serras, estrias | Nenhum | Nenhum | Nenhum | F523 |
Critérios do verso | ||||
Rachaduras, crowsfeet, viu marcas, manchas | Nenhum | Nenhum | Nenhum | F523 |
Condição de superfície | Caustic gravado | F523 | ||
【 Descrição do produto 】
A linha de produtos da Microelectronics inclui substratos de pastilhas polidos de lado único (SSP) e de lado duplo polido (DSP). As pastilhas polidas de lado duplo são normalmente necessárias em semicondutores, MEMS e outras aplicações onde são necessárias pastilhas com características de planicidade controladas rigidamente.
Nós também oferecemos peças de bolacha retangulares e quadradas. Basicamente realizável intervalo dos comprimentos de borda para pastilhas de silício é 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2 etc. O custo / pastilha depende do material, bem como sobre o número de peças de wafer necessárias.
O corte e o polimento personalizados também estão disponíveis de acordo com as suas necessidades. Por favor sinta-se livre para entrar em contato conosco.
【 Características do produto 】
· 4 "tipo P / N, bolacha de silício Polido (25 unidades)
· Orientação: 100
· Resistividade: 0,1 - 40 Ohm · cm (pode variar de lote para lote)
· Espessura: 525 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Tag: Bolacha de 4 polegadas (100mm), China, fornecedores, fabricantes, fábrica, fabricados na China
